三(二甲氨基)硅烷
| 英文名 | Tris (dimethylamino) silicon | ||
| CAS号 | 15112-89-7 | 分子量 | 161.32 |
| 分子式 | C6H19N3Si | 货号 | FN0006 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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