四(甲乙胺基)铪
英文名 | Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV) | ||
别名 | 四(甲乙胺基)铪 | ||
CAS号 | 352535-01-4 | 分子量 | 410.90 |
分子式 | C12H32HfN4 | 货号 | FN0008 |
产品分类 | ALD源 |
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