五(二甲氨基)钽(V)
| 英文名 | Pentakis(dimethylamino）tantalum | ||
| 别名 | 9,9-二甲基氧杂蒽;五(二甲氨基)钽(V);五(二甲基氨基)钽;五(二甲胺)钽;PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM(V),MIN98% | ||
| CAS号 | 19824-59-0 | 分子量 | 401.20 |
| 分子式 | C10H30N5Ta | 货号 | FN0013 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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