四(甲乙氨基)锆
| 英文名 | Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium | ||
| 别名 | TEMAZ | ||
| CAS号 | 175923-04-3 | 分子量 | 322.17 |
| 分子式 | C12H32N4Zr | 货号 | FN0010 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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