四氯化铪
| 英文名 | hafnium tetrachloride | ||
| 别名 | 氯化铪;氯化铪(IV);四氯化铪 | ||
| CAS号 | 13499-05-3 | 分子量 | 320.302 |
| 分子式 | Cl4Hf | 货号 | FN0029 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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