三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽
| 英文名 | TBTDET: (t-Butylimido)tris(diethylamino)tantalum(V) | ||
| 别名 | 三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 | ||
| CAS号 | 169896-41-7 | 分子量 | 468.46 |
| 分子式 | C16H39N4Ta | 货号 | FN0080 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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